近日，我市兩年前的一項(xiàng)“揭榜掛帥”科研攻關(guān)項(xiàng)目研制成功，這讓濟(jì)南在全球率先研制出了12英寸（直徑300mm）的超大尺寸光學(xué)級(jí)鈮酸鋰晶體。

完成這項(xiàng)科研攻關(guān)的是山東恒元半導(dǎo)體科技有限公司，是濟(jì)南大學(xué)8英寸鈮酸鋰晶體科研成果的轉(zhuǎn)化項(xiàng)目。目前，恒元半導(dǎo)體已經(jīng)開始批量生產(chǎn)6—8英寸Z軸、X軸光學(xué)級(jí)鈮酸鋰晶體。

“本著研發(fā)走在前列的科技產(chǎn)業(yè)發(fā)展理念，公司與山東大學(xué)劉宏教授、濟(jì)南大學(xué)孫德輝教授科研團(tuán)隊(duì)合作，在世界上首次提出了研發(fā)12英寸鈮酸鋰晶體生長技術(shù)，并成為2022年濟(jì)南市‘揭榜掛帥’科技計(jì)劃重點(diǎn)項(xiàng)目?！焙阍雽?dǎo)體公司總經(jīng)理彭立果說。

經(jīng)過兩年的攻關(guān)，經(jīng)歷了數(shù)十次失敗，恒元半導(dǎo)體公司相繼攻克12英寸鈮酸鋰晶體生產(chǎn)設(shè)備的設(shè)計(jì)、晶體生長及缺陷控制、晶體后處理等全鏈條關(guān)鍵核心技術(shù)，4項(xiàng)科技成果獲得國家發(fā)明專利授權(quán)，終于在全球首先突破了12英寸鈮酸鋰晶體生長技術(shù)。近日，恒元半導(dǎo)體公司對(duì)外公布了在全球率先研制成功12英寸光學(xué)級(jí)鈮酸鋰晶體的消息。

鈮酸鋰晶體是一種具有壓電、電光、聲光及非線性光學(xué)等多種效應(yīng)的多功能晶體材料，是集成光電子技術(shù)的核心基礎(chǔ)材料。研究表明，基于鈮酸鋰光學(xué)平臺(tái)開發(fā)出的全球領(lǐng)先微波光子芯片，可運(yùn)用光子進(jìn)行超快模擬電子信號(hào)處理及運(yùn)算，比傳統(tǒng)電子處理器快1000倍。隨著半導(dǎo)體工藝普遍進(jìn)入納米級(jí)，基于電子和硅材料的集成電路芯片已經(jīng)越來越接近物理極限，成本也在不斷增加，科學(xué)家們?cè)缫寻涯繕?biāo)轉(zhuǎn)向了速度更快、能耗更低、性能更穩(wěn)定的光子芯片。

如今，12英寸鈮酸鋰晶體研制成功，讓濟(jì)南在集成光電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展的道路上更進(jìn)一步。彭立果說：“鈮酸鋰晶體尺寸越大，意味著單位芯片的成本越小，這是光子芯片產(chǎn)業(yè)化的基礎(chǔ)。公司已經(jīng)募集到1億元左右的資金，計(jì)劃3年內(nèi)晶圓年產(chǎn)量達(dá)到25萬片。”