近日，我市兩年前的一項“揭榜掛帥”科研攻關項目研制成功，這讓濟南在全球率先研制出了12英寸（直徑300mm）的超大尺寸光學級鈮酸鋰晶體。

完成這項科研攻關的是山東恒元半導體科技有限公司，是濟南大學8英寸鈮酸鋰晶體科研成果的轉化項目。目前，恒元半導體已經開始批量生產6—8英寸Z軸、X軸光學級鈮酸鋰晶體。

“本著研發走在前列的科技產業發展理念，公司與山東大學劉宏教授、濟南大學孫德輝教授科研團隊合作，在世界上首次提出了研發12英寸鈮酸鋰晶體生長技術，并成為2022年濟南市‘揭榜掛帥’科技計劃重點項目?！焙阍雽w公司總經理彭立果說。

經過兩年的攻關，經歷了數十次失敗，恒元半導體公司相繼攻克12英寸鈮酸鋰晶體生產設備的設計、晶體生長及缺陷控制、晶體后處理等全鏈條關鍵核心技術，4項科技成果獲得國家發明專利授權，終于在全球首先突破了12英寸鈮酸鋰晶體生長技術。近日，恒元半導體公司對外公布了在全球率先研制成功12英寸光學級鈮酸鋰晶體的消息。

鈮酸鋰晶體是一種具有壓電、電光、聲光及非線性光學等多種效應的多功能晶體材料，是集成光電子技術的核心基礎材料。研究表明，基于鈮酸鋰光學平臺開發出的全球領先微波光子芯片，可運用光子進行超快模擬電子信號處理及運算，比傳統電子處理器快1000倍。隨著半導體工藝普遍進入納米級，基于電子和硅材料的集成電路芯片已經越來越接近物理極限，成本也在不斷增加，科學家們早已把目標轉向了速度更快、能耗更低、性能更穩定的光子芯片。

如今，12英寸鈮酸鋰晶體研制成功，讓濟南在集成光電子產業發展的道路上更進一步。彭立果說：“鈮酸鋰晶體尺寸越大，意味著單位芯片的成本越小，這是光子芯片產業化的基礎。公司已經募集到1億元左右的資金，計劃3年內晶圓年產量達到25萬片?！?/p>